Какие поломки быть у вакуумметра ионизационно термопарный

Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Вакуумметр ионизационно-термопарный

Вакуумметр ионизационный — термопарный типа ВИТ-1 и ВИТ-1-П 413 [c.413]

Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-1 и его более поздняя модификация ВИТ-1А представляют собой измерительные комплекты, состоящие из блоков для одновременной работы [c.163]

Вакуумметр ионизационный—термопарный типа ВИТ-1 и ВИТ-1-П, Тех- [c.446]

Ионизационно-термопарный вакуумметр ВИТ-1А (рис. 142). Этот вакуумметр измеряет давления с помощью двух датчиков ионизационного ЛМ-2 в диапазоне 5-10 —1-10 мм рт. ст. и термопарного ЛТ-2 (или ЛТ-4М) в диапазоне 10″ — Ь 10 жл рт. ст. Работа ВИТ-1 А сдатчиком ЛТ-2 (или ЛТ-4М) аналогична работе вакуумметра ВТ-2А в диапазоне давлений Ь 10 —Ь 10 мм рт. ст. [c.168]

I — баллоны с газом 2 — фильтр с цеолитом 3 — фильтр с медной стружкой 4 — ротаметр 5 ртутный вакуумметр 6 — рабочая камера диаметром 180 мм и высотой 200 мм 7 — анод 8 — азотируемый образец (катод) 9 — термопара 10 — балластное сопротивление // — выпрямитель /2 — повышающий трансформатор 3 — регулятор напряжения 14 — вакуумный насос 15 — вакуумметр ионизационно-термопарный 16 — переключатель /7 — потенциометр [c.108]

Па благодаря использованию механического масляного насоса, и высоковакуумной ступени, обеспечивающей перепад от 1 до 10- Па с помощью диффузионных паромасляных насосов. Измерение вакуума производится ионизационно-термопарными вакуумметрами. [c.139]

Для измерения и питания применяют вакуумметры ВТ-2А (термопарный), ВТ-3 (термопарный), ВИТ-1А и ВИТ-2 (ионизационно-термопарные). Если требуется определить давление различных газов, то с точностью до 20% можно пользоваться градуировочной кривой, полученной для воздуха. Для этого умножают значения, найденные по градуировочной кривой, на коэффициент д [15] [c.530]

Ионизационно-термопарный вакуумметр [c.206]

Ионизационно-термопарный вакуумметр ВИТ-1А измеряет давления с помощью датчика ЛМ-2. Диапазон давлений, измеряемых этим прибором, от 2-10 до 5-10 мм рт. ст. Ионизационная часть прибора измеряет давле- [c.537]

Безртутные манометры. Наличие паров ртути в рабочей части адсорбционных установок часто бывает недопустимо. Наибольшую трудность представляет замена ртутных манометров другими приборами ДЛЯ измерения давлений. Если контроль за степенью откачки адсорбента вполне удовлетворительно может быть осуществлен, например, ионизационно-термопарными вакуумметрами ВИТ-1, ВИТ-2 или ВИТ-3, работающими в пределах давлений от 10- до 1 мм, то для достаточно точного измерения давлений от 1 до 800 мм рт. ст. практически нет стандартных приборов, выпускаемых промышленностью. Имеющиеся безртутные заводские манометры абсолютного давления МАС-ЭЗ не обеспечивают измерение давления точнее, чем 0,5 мм. рт. ст., и, кроме того, имеют большой мертвый объем. [c.28]

К манометрическим датчикам выпускают измерительные блоки. Например, ВИТ-1 (вакуумметр ионизационный и термопарный) может работать совместно с датчиками ЛТ-2 и ЛМ-2. С датчиком ИМ-12 выпускается измерительный блок ВИ-12. [c.10]

Радиоизотопный блокировочный самопишущий вакуумметр представляет собой измерительную установку, работающую в комплекте с радиоизотопным манометрическим преобразователем ПМР-2, термопарными преобразователями ЛТ-2 или ЛТ-4М и ионизационным преобразователем ЛМ-2. [c.188]

В настояш,ее время промышленностью изготовляется аппаратура для измерения низких давлений, состоящая из смонтированных в одном приборе манометра (сопротивления, термопарного или ионизационного), измерительной схемы и измерительных приборов, переключателей и т. д. Эти приборы в целом также стали называть манометрами или вакуумметрами. [c.58]

Для измерения более низких давлений применяются ионизационные манометры, которые градуируются так же, как и теплоэлектрические, по компрессионному манометру. Уже упоминавшийся вакуумметр ВИТ-1 является комбинированным и, кроме термопарной лампы, включает ионизационную лампу-датчик ЛМ-2 (фиг. 148, б), который позволяет расширить диапазон измеряемых давлений от 10 до 5-10 мм рт. ст. Специальным ионизационным вакуумметром, применяемым совместно с датчиком ЛМ-2, является также прибор ВИ-3. [c.325]

Советской промышленностью выпускается комбинированный (термопарный и ионизационный) манометр-вакуумметр типа ВК-1, прекрасно зарекомендовавший себя в работе. (Прим. общ. ред.) [c.374]

Вакуум измеряют ионизационно-термопарным вакуумметром (наи имер, ВИТ-1) 10, датчиком для которого служат лампы тина ЛТ-2 и ЛМ-2, связанные с вакуумной системой. Остаточное давл1 ние в ,иапазоне мм рт. ст. измеряют при помощи [c.263]

Вакуумная система (рис. 2) предназначена для создания разрежения в вакуумной камере калориметрического устройства (рис. I). В системе используются форвакуумный 1 и диффузионный наромасляный 2 насосы. Все соединительные трубки, краиы н снльфоны системы металлические. Форвакуумный насос ( ВН-461 М) обеспечивает разрежение до 0,1—0,2 Па, а диффузионный (Н-1С-2)—от 7-10 з до 2-10 Па, чему способствует металлическая ловушка 3, охлаждаемая жидким азотом. Степень разрежения контролируется термопарной (ПМТ-2) и ионизационной (ПМИ-2) лампами 4 и ионизационно-термопарным вакуумметром ВИТ-2. Камера 5 — цилиндрический сосуд, емкостью 5-10 » м , заполняется теплообменным газом (гелием), необходимым на слу- [c.90]

Важнейшей частью этих весов является кварцевая спиральная пружина, находящаяся в стеклянном кожухе (поз. 7). Пружина оканчивается двумя крючками. Верхним крючком она через систему подвесов крепится к неподвижному крючку колбы. Иа нижнем крючке ее подвешена чашечка с навеской адсорбента. Растяжение пружины пропорционально массе поглощенного вещества и фиксируется по положению чашечки с помощью отсчетного мпкроскопа — катетометра. Нижняя часть кожуха с пружинкой помещается в термостат 8. Регенерация образца адсорбента (удаление ранее поглощенного вещества) производится его длительной откачкой при остаточном давлении порядка 1-10″ Па (1-10 5 мм рт. ст.) с одновременным нагревом. Максимально допустимая температура нагрева определяется природой адсорбента обычно она составляет 350 °С в случае цеолита илп угля, 200 °С — в случае силикагеля. Вакуум в системе создается двумя последовательно включенными насосами форвакуумным насосом 1 п насосом глубокого вакуума 2. Для измерения давления в системе предусмотрены две лампы, термопарная и ионизационная, соединенные с вакуумметром, например ВИТ-1. Периодическая проверка показаний прибора производится по манометру Мак-Леода 4. Равновесное давление газа (пара) в системе измеряется манометром Мак-Леода или ртутным манометром 5, снабженным отсчетЕым микроскопом. Точность измерения давления манометром 5 составляет около 6 Па (5-10-2 мм рт. ст.). [c.39]

Для измерения давления от 0,1 МПа до 1,3 10 Па (от 760 до 10 мм рт ст) в лабораториях применяют компрессионные манометры — различные разновид ностн манометра МаклеоДа Для их заполнения тре буется ДО нескольких килограммов ртути, поэтому при аварии они представляют серьезную опасность Не которые конструкции манометров Маклеода не отвеча ют современным требованиям техники безопасности Учитывая эти обстоятельства, следует но возможности заменять в лабораториях стеклянные вакуумметры, содержащие большое количество ртути, на безопасные и удобные в работе теплоэлектрические вакууммет ры (термопарные и вакуумметры сопротивления), электроразрядные, а также ионизационные вакууммет ры (электронно ионизационные и радноизотопиые) [34] [c.268]

Давление паров большинства кристаллических органических веществ бывает низким, обычно много ниже атмосферного давления, так что особую важность приобретают методы измерения давления в области от 0,1 до 10 атм. Для этих целей было разработано много устройств и методов, частично рассмотренных в обзорах Партингтона [536] и Милацо [436]. Давление ниже 1 мм рт. ст. измеряется обычными ионизационными приборами различных типов, термопарными, термисторными и другими вакуумметрами, основывающимися на измерении сопротивления. Бейнон и Николь-сон 167] применили для этого ионизационный прибор, в котором для ионизации газа используются заряженные частицы (альфа-частицы от радиоактивного источника). При низких давлениях необходимо остерегаться ошибок, связанных с термической транспирацией, которая может иметь место, когда средний свободный путь молекул пара становится сравнимым с диаметром используемых в системе трубок [165]. Абсолютная калибровка таких устройств, необходимая для точных измерений давления, затруднительна, но наклон кривых давления пара может быть измерен достаточно точно, так что энтальпия сублимации определяется вполне надежно. [c.38]

Магнитный (электроразрядный) вакуумметр, как и описанные ранее термопарный и ионизационный, состоит из манометрической лампы и вторичного прибора. В СССР выпускается магнитный вакуумметр типа ВМБС-1, работающий с датчиком ММ-8. Пределы его измерения 1,0—1-10 мм рт. ст. Вакуумметр комплектуется записывающим прибором и имеет блок-контакты, которые могут использоваться для сигнализации или регулирования. [c.47]

Система откачки печи включает два форвакуумных насоса ВН-1Г и ВН-4Г, два бустернык насоса БН-1500, четыре вымораживающие ловушки две — работающие на жидком азоте и две — на твердой углекислоте. Вакуум замеряется термопарным и ионизационным вакуумметрами, работающими от соответствующих датчиков, расположенных в различных точках вакуумной системы. [c.20]

Универсальный комбинированный вакуумметр ВИТ-3 работает с термопарными датчиками или с ионизационными — ЛМ-2, ЛМ-3-2 и МИ-10. Диапазон измерения от 0,8 до 10″ мм рт. ст. Прибор имеет линейную и логарифмическую шкалу, что делает его пригодным для авторегистрации. Для установок, где наличие местных электрических или магнитных полей или излучений исключает применение типовых вакуумметрических средств, созданы ионизационные вакуумметры, устойчивые к помехам. Разработан устойчивый к помехам вакуумметр с пределами измерения 10″ —10″ мм рт.ст., создается прибор с нижним порогом измеряемых давлений 10″ мм рт. ст [13]. [c.538]

Измеряют давление в рабочем объеме термопарным вакуумметром 5. Создав требуемый вакуум, открывают затвор 3 и клапан 13, закрывают клапан 11 и откачивают диффузионную магистраль насоса 1. После восстановления вакуума в системе, понизивщегося за счет воздуха, находящегося в объеме диффузионного насоса 1 и его магистрали, включают этот насос, предварительно подав воду для охлаждения его корпуса. Одновременно начинают охлаждать жидким азотом ловушку 2. После достижения необходимого предельного разрежения порядка 5 10″ Па, которое измеряется ионизационным вакуумметром 6, приступают к проведению технологического процесса нанесения тонких пленок (обычно при рабочем давлении порядка 10 Па). [c.79]

Смотреть страницы где упоминается термин Вакуумметр ионизационно-термопарный: [c.330] [c.189] [c.323] [c.164] [c.184] [c.231] [c.141] [c.413] [c.109] [c.47] [c.50] [c.104] [c.268] [c.79] Техника лабораторных работ (1982) — [ c.206 ]

Какие поломки быть у вакуумметра ионизационно термопарный

Может, лучше вакуумметр подыскать?. Т.е. , с чем эта лампа будет работать.
ВИТ-1, ВИТ-2, ВИТ-3.
Наверно сейчас такое страрье можно почти задаром найти.
Впрочем, мы ими еще пользуемся.

Ну разве что нужен только порог (вакуум достиг такого-то уровня — идет сигнал) — тогда, наверное и компаратора хватит без всяких лишних вакумметров. Стабилизатор тока подразумевается, в смысле..

Ваккууметры ищу по неликвидам довольно долго, но безрезультатно, по крайне мере по адекватным ценам. Будем продолжать поиск.
А вот с затвором пока непонятно-количество мнений 50/50

И еще-есть пневмоклапаны вакуумные, можно ли их переделать на ручное управление простым способом, конечно, можно было бы выточить десяток деталей и сделать, но возможности такой нет. Или может, их так пневматикой и оставить, но как и от чего управлять?

alexey_public
В центре крестиком растянута между двумя контактами, полностью аналогично как в наших ВИТ-1.
Я именно на этой фотографии и смотрел, в середине виден накал V-образной формы, вокруг сетка потом анод.

Collector — в центре, на него -20 В
Collector — внешний цилиндр, он собирает ионы.

Filament — это надо полагать кожух вокруг
Filament — катод (накал).

И меряем втекающий в коллектором ток, вроде не сложно.
Смотря с какой стороны смотреть, ток там оочень небольшой.

Его кстати можно включать без вакуума?
Нет, сгорит катод.

PS. Если что напутал, заранее извиняюсь, я с этими датчиками сто лет как не работаю.

Cheshire_Kot
в середине виден накал V-образной формы
В том-то и дело — там X образная конструкция, полностью как в наших термопарных лампах, которые мне показывали вместе с этой. Просто плохо видно.

Collector — внешний цилиндр, он собирает ионы.
Не тут то было, см. фото цоколя:
/fotkidepo.ru/?id=photo:487355
Там буквы F — две, они идут на внешний цилиндр с двух сторон.

Электроды, которые соединены с X-образной конструкцией, одозначены как P, а электроды, которые идут на сетку-спираль — как G.

spliner
Похоже комбинированный вариант. «Два в одном».
Я тоже так начал думать, осталось только сообразить как ее подключить. Но с другой стороны — на этикетке ничего не написано об этом.

Нет, сгорит катод.
Обидно Нелья проверить электронику, пока не соберу вакуумную камеру.

Хорошо — а когда включают лампу? Как определить момент, когда ее можно запускать?

USER
но по моему ВИТ-1 это здоровый ящик
Да — вроде так, это я напутал, просто в инете нашел упрощенные названия для ламп — ВИТ-1, причем не один раз, хотя конечно это сам прибор целиком. У ламп другое обозначение.

alexey_public
В том-то и дело — там X образная конструкция, полностью как в наших термопарных лампах, которые мне показывали вместе с этой. Просто плохо видно.
автоперевод с транслита:
Ну тогда наверное действительно комбинированная, только я не вполне понял как у нее электроды разведены ? на фото у лампы 6 выводов, два накал, два анод, один сетка остается один а для термппары нужно два. Разрисуй если не трудно или хотя-бы сфотографируй со стороны ножки но под углом чтобы было видно куда выводы подключены.

Там буквы F — две, они идут на внешний цилиндр с двух сторон.
Электроды, которые соединены с X-образной конструкцией, одозначены как P, а электроды, которые идут на сетку-спираль — как G.
автоперевод с транслита:
Странно, а может буквы не имеют прямого отношения к названию электродов, или используются какие-то специфические термины ? одно могу сказать абсолютно точно: filament по английски это нить (накалa ).

Хорошо — а когда включают лампу? Как определить момент, когда ее можно запускать?
автоперевод с транслита:
Когда ваккум достиг «верхнего» предела измерений, у ионизационных ЕМНИМС это где-то 10 -2 -10 -3 торр.

Большая Энциклопедия Нефти и Газа

Термопарный вакуумметр

Должен знать: устройство обслуживаемого оборудования; рецептуру, виды, назначение и особенности подлежащих испытанию материалов, сырья, полуфабрикатов и готовой продукции; правила ведения физико-механических испытаний различной сложности с выполнением работ по их обработке и обобщению; принцип действия баллистических установок для определения магнитной проницаемости; основные узлы вакуумных систем форвакуумных и диффузионных насосов, термопарного вакуумметра ; основные методы определения физических свойств образцов; основные свойства магнитных тел; термическое расширение сплавов; методику определения коэффициентов линейного расширения и критических точек на дилатометрах; методику определения температуры с помощью высоко — и низкотемпературных термометров; упругие свойства металлов и сплавов; правила внесения поправок на геометрические размеры образца; методы построения графиков; систему записей проводимых испытаний и методику обобщения результатов испытаний. [31]

Должен знать: устройство обслуживаемого оборудования; рецептуру, виды, назначение и особенности подлежащих испытанию материалов, сырья, полуфабрикатов и готовой продукции; правила ведения физико-механических испытаний различной сложности с выполнением работ по их обработке и обобщению; принцип действия баллистических установок для определения магнитной проницаемости; основные узлы вакуумных систем форвакуумных и диффузионных насосов, термопарного вакуумметра ; основные методы определения физических свойств образцов; основные свойства магнитных тел; термическое расширение сплавов; методику определения коэффициентов линейного расширения и критических точек на дилатометрах; методику определения температуры с помощью высоко — и низкотемпературных термометров; упругие свойства металлов и сплавов; правила внесения поправок на геометрические размеры образца; методы построения графиков; систему записей проводимых испытаний и методику обобщения результатов испытаний. [32]

Должен знать: устройство обслуживаемого оборудования; рецептуру, виды, назначение и особенности подлежащих испытанию материалов, сырья, полуфабрикатов и готовой продукции; правила ведения физико-механических испытаний различной сложности с выполнением работ по их обработке и обобщению; принцип действия баллистических установок для определения магнитной проницаемости; основные узлы вакуумных систем форвакуумных и диффузионных насосов, термопарного вакуумметра ; основные методы определения физических свойств образцов; основные свойства магнитных тел; термическое расширение сплавов; методику определения коэффициентов линейного расширения и критических точек на дилатометрах; методику определения температуры с помощью высоко — и низкотемпературных термометров; упругие свойства металлов и сплавов; правила внесения поправок на геометрические размеры образца; методы построения графиков; систему записей проводимых испытаний и методику обобщения результатов испытаний. [33]

Должен знать: устройство обслуживаемого оборудования; рецептуру, виды, назначение и особенности подлежащих испытанию материалов, сырья, полуфабрикатов и готовой продукции; правила ведения физико-механических испытаний различной сложности с выполнением работ по их обработке и обобщению; принцип действия баллистических установок для определения магнитной проницаемости; основные узлы вакуумных систем форвакуумных и диффузионных насосов, термопарного вакуумметра ; основные методы определения физических свойств образцов; основные свойства магнитных тел; термическое расширение сплавов; методику определения коэффициентов линейного расширения и критических точек на дилатометрах; методику определения температуры с помощью высоко — и низкотемпературных термометров; упругие свойства металлов и сплавов; Правила внесения поправок на геометрические размеры образца; методы построения графиков; систему записей проводимых испытании и методику обобщения результатов испытаний. [34]

Должен знать: устройство обслуживаемого оборудования; рецептуру, виды, назначение и особенности подлежащих испытанию материалов, сырья, полуфабрикатов и готовой продукции; правила ведения физико-механических испытаний различной сложности с выполнением работ по их обработке и обобщению; принцип действия баллистических установок для определения магнитной проницаемости; основные узлы вакуумных систем форвакуумных и диффузионных насосов, термопарного вакуумметра ; основные методы определения физических свойств образцов-основные свойства магнитных тел; термическое расширение сплавов; методику определения коэффициентов линейного расширения и критических точек на дилатометрах; методику определения температуры с помощью высоко — и низкотемпературных термометров; упругие свойства металлов и сплавов; правила внесения поправок на геометрические размеры образца; методы построения графиков; систему записей проводимых испытании и методику обобщения результатов испытаний. [35]

Для определения удельной поверхности глин адсорбционным методом была применена вакуумная установка ( рис. 2), состоящая из четырнадцати кювет 1, калиброванной колбы 2, ртутного манометра 3, дифференциального манометра 4, колбы с азотом 5, ампулы с активированным углем 6, манометрической лампы 7, вакуумных кранов 8 — 15, форвакуумного насоса, термопарного вакуумметра типа ВИТ-1 , ловушки и соединительных трубок. [36]

Измерение давления в электропечах производят, как правило, термопарными и ионизационными вакуумметрами. Датчик термопарного вакуумметра выполнен в виде колбы, полость его связана с полостью вакуумной системы. [37]

Ход градуиро-вочной кривой в данном случае, как и в случае других типов теплоэлектриче-ских вакуумметров, зависит от рода газа. Отличие термопарных вакуумметров состоят в том, что его показания ( рис. 199 6) не зависят от температуры окружающей среды. Во всем остальном термопарные вакуумметры обладают теми же достоинствами я недостатками, как вакуумметры сопротивления. [39]

Измерение давления в электропечах производят, как правило, термопарными и ионизационными вакуумметрами. Датчик термопарного вакуумметра выполнен в виде колбы, полость его связана с полостью вакуумной системы. [40]

Для удобства измерения давления термопарами манометрическими лампами ЛТ-2 ( ЛТ-4М) и ионизационными манометрическими лампами ЛМ-2 измерительные электрические блоки ВТ-2 и ВИ-3 объединены в один прибор, который выпускают специализированные предприятия. Этот прибор называется ионизационным термопарным вакуумметром ВИТ-1А . Так как ВИТ-1А является стандартным прибором, работа с ним подробно описана в прилагаемой технической документации, которой следует руководствоваться. [41]

Термоэлектрические вакуумметры построены на принципе изменения теплопроводности газа при низких давлениях в зависимости от величины давления. Из термоэлектрических вакуумметров в электропечах применяются термопарные вакуумметры . [42]

Вакуумметр состоит из двух частей: вакуумметрической лампы, играющей роль датчика, и переносного электрического измерительного прибора. На рис. 8.10 показана схема устройства лампы ЛТ-2 термопарного вакуумметра . Там же приведена электрическая схема измерительного прибора. [43]

Питание основного нагревателя осуществляется от сети переменного тока 220 в через стабилизатор 18 марки ИНН-1. Остаточное давление, создаваемое в рабочей камере [ до ( 1н — 2) 10 — 4 мм рт. ст. ], замеряется термопарным вакуумметром / / марки ВИТ-1А с манометрической лампой ЛТ-2 в роли датчика. [44]

В литературе описаны также разрядные трубки, сконструированные специально для возбуждения спектров веществ, имеющихся в очень малых количествах [214 215], и светосильные разрядные трубки с большим угловым диаметром окна для наблюдения. Для обслуживания разрядной трубки используется несложная вакуумная установка, состоящая из ротационного форвакуумного и диффузионного ртутного или масляного насосов ( при форвакуумном насосе, дающем разряжение до 10 — 3 мм Hg, применение диффузионного насоса не обязательно), разрядной трубки, манометра ( обычно U-образный масляный или термопарный вакуумметр ) и баллона с газом. Кроме того, очень часто употребляется непрерывная очистка газа, которую обеспечивает специальная система циркуляции. [45]

Вакуумметры и их типы — все они есть у нас в продаже

Ионизационный вакуумметр с горячим катодом

Термическая эмиссия — это самый простой способ образования электронов, необходимых для ионизации. Катод (филамент) накаляется высоким электрическим током. При повышенной температуре электроны отрываются от атомов, ускорятся электрическим полем и используются для ионизации газа.
Кроме филамента, вакуумметр с горячим катодом обычно состоит ещё из решеткообразного цилиндрического анода и ионной ловушки. Филамент и аноды находятся на различных положительных потенциалах, коллектор на массе . Величиной измерения датчика горячего катода является разрядный ток, который возникает при выходе положительно заряженных частиц с коллектора. Сам катод/филамент – используется исключительно для образования электронов. Датчик Байард-Альперта считается самым распространённым типом датчиков с горячим катодом.

Ионизационный вакуумметр с холодным катодом

В холодном катоде газ ионизируется путём столкновения с электронами, двигающимися в скрещенных электрических и магнитных полях по спиралевидным траекториям. При высоком напряжении между катодом и анодом все электрически заряженные частицы, находящиеся в остаточном газе, ускоряются и движутся к соответствующему электроду. При этом они сами могут ионизировать другие молекулы, соударяясь с ними, или вызывать образование вторичных электронов. Движущиеся к аноду электроны и устремляющиеся к катоду ионы вызывают процесс газового разряда. Остаточный газ в холодном катоде ионизируется электронами. При низком давлении очень важно, чтобы они как можно дольше оставались в области ионизации. Таким образом, повышается вероятность ионизации и продолжительность газового разряда. Дополнительное внешнее магнитное поле усиливает действие процесса.

Комбинированный вакуумметр

Часто в вакуумных процессах необходимо применять несколько принципов измерения, чтобы достичь необходимой точности измерения или охватить большой диапазон давления. В этом случае используются вакуумметры, объединяющие различные принципы измерения в одном приборе. Обычные комбинации — это Байард-Альперт + Пирани (например, ATMION®), инвертированный магнетрон + Пирани (например, PENNINGVAC PTR 90) или Пирани + ёмкостный (например, THERMOVAC TTR 101).
Широкодиапазонный вакуумметр ATMION® позволяет измерять давление в диапазоне 13 декад (10-10 mbar до атмосферного давления). Комбинированные датчики с горячим катодом и Пирани обеспечивают надёжное, автоматически управляемое использование вакуумметра.

Тепловой вакуумметр

Теплопроводность является одной из характеристик газа, непосредственно связанной с плотностью частицы. Энергия передаётся газовыми молекулами в результате их соударения, и в зависимости от длины свободного пробега частиц теплопроводность осуществляется с разной эффективностью. В определённой области давления теплопроводность пропорциональна давлению, несмотря на это могут возникнуть помехи, как тепловой поток, тепловое излучение, теплопроводность через контакты и т.д.
Измерительный мост (мост Wheatstone) используется для уравновешивания температуры и позволяет одновременно измерять разность напряжения между определённым индикатором и прилагаемым напряжением накала. Разностное напряжение устанавливается путём сравнения с нулевым пунктом (указан в техническом паспорте датчика). Сравнение с нулевым пунктом необходимо прежде всего для учёта потери тепла через контакты проволоки и теплоизлучения. Как правило, разностное напряжение соответствует напряжению накала, которое необходимо приложить, если давление в установке опускается ниже предела измерения.
Основные преимущества теплового вакуумметра — это широкий диапазон измерений от 10-4 mbar до атмосферного давления и точность измерений ±10 %, которая достаточна для многих применений.

Мембранно-ёмкостный вакуумметр

Мембранно-ёмкостные вакуумметры используются главным образом для измерения давления в области до высокого вакуума и оно не зависит от вида газа. Принцип действия этих вакуумметров основан на измерении эластичной деформации тонкой мембраны под действием разности давлений p1 на одном и p2 на другом конце.
Таким образом, мембранный вакуумметр — это прибор для измерения относительного давления. В объёме датчика создаётся разряжение до давления p2, которое меньше давления p1 в ресивере. Измерение абсолютного давления происходит с незначительными погрешностями, возникающим из-за остаточного давления p2.
В ёмкостных вакуумметрах чувствительная мембрана образует один из электродов конденсатора. Изгиб, выполняющий функцию разностного давления, вызывает изменение его объёма. Это изменение можно непосредственно измерить. Мембраны изготовляются из нержавеющей стали с небольшим коэффициентом теплового расширения или керамики с металлическим покрытием. Керамические мембраны менее чувствительны к перепадам температур и благодаря лучшей способности к релаксации устойчивы по отношению к нулевой точке. Они обладают улучшенной коррозиевоустойчивостью и могут использоваться также в суровых условиях. Мембрана не должна быть чувствительна к при изменении температуры, иначе это приводит к искажению результатов измерений. Диапазон измеряемых давлений зависит от толщины мембраны. Каждая толщина мембраны измеряет давление диапазоном 4 декад.
Увеличение точности можно достичь, используя термостабильные датчики, установленные на постоянную температуру 45гр.C. Тем самым снижается влияние температуры на результаты измерений. Преимущества мембранно-ёмкостного вакуумметра — это газонезависимость, высокая точность измерения (обычно 0,2% от показываемого значения) и стойкость против коррозийных газов